Действие ионных насосов
основано на ионизации газа сильным электрич. разрядом
и удалении ионизованных молекул электрич. полем. Этот способ мало распространён
из-за сложности устройства и большой потребляемой мощности, затрачиваемой
гл. обр. на создание магнитного поля. При комнатной темп-ре инертные газы
и углеводороды практически не поглощаются напылёнными плёнками металлов.
Рис. 8. Схема
(а) и общий вид (б) трёхступенчатого паромасляного насоса.
Для их удаления
служат комбинированные ионно-сорбционные, или ионно-геттерные, насосы,
в к-рых сорбционный способ поглощения химически активных газов сочетается
с ионным способом откачки инертных газов и углеводородов. Поглощающая поверхность
обновляется осаждением на стенках термически испаряемого титана, а также
катодным распылением титана в электрическом разряде или в магнитном поле
в электроразрядных или магниторазрядных ионно-сорбционных насосах (рис.
9). Ионно-сорбционные В. н. при предварительной откачке до 10-2
н/м2(до 10-4 мм рт. ст.) создают вакуум
до 10-5н/м2 (10-7 мм рт. ст.).
Быстрота откачки зависит от рода газа. Напр., быстрота откачки водорода
5000 л/сек, азота 2000 л/сек, аргона 50 л/сек. Достигаемое
Рис. 9. Магнито-разрядный
ионно-сорбционный на сое: N, S - северный и южный полюсы; Л -
анод К - катод.
предельное
давление в хорошо обезгаженных объёмах и без натекания газа ниже 10-8
н/м2(10-10 мм рт. ст.).
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я