ИНТЕГРАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
интегральная микроэлектроника, область электроники, решающая
проблемы конструирования, изготовления и применения интегральных схем и
функциональных устройств. И. э. представляет собой дальнейший этап развития
технологии изготовления полупроводниковых приборов на основе применения
высокопроизводит. групповых технологич. процессов (см. в ст. Микроэлектроника).
Осн. разработки в области И. э. направлены на создание: интегральных схем
(полупроводниковых, плёночных, гибридных), 'функциональных интегральных
узлов, молектронных и оптоэлектронных устройств, ионных приборов (см. Молекулярная
электроника и Оптоэлектроника).
Наиболее развита
полупроводниковая и плёночная (гибридная) микроэлектроника, обеспечивающая
массовое пром. производство стандартных интегральных схем. Особенности
развития этих направлений заключаются в непрерывном повышении функциональной
сложности и увеличении степени интеграции схем. Оба направления тесно взаимосвязаны
и дополняют друг друга. Функциональные интегральные узлы, молектронные
и оп-тоэлектронные устройства являются дальнейшим развитием интегральной
технологии на основе методов полупроводниковой и плёночной технологии.
Интегральные схемы широко применяют в ЭВМ, контрольно-измерит. аппаратуре,
бытовых радиоэлектронных приборах, аппаратуре связи и мн. др. Одним из
перспективных направлений И. э. является диэлектрическая электроника.
Лит.: Микроэлектроника,
Сб. ст., под ред. Ф. В. Лукина, в. 1, M., 1967; Введение в микроэлектронику,
пер. с англ., под ред. И. П. Степаненко, M., 1968. К. Я. Прохоров.
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я