ИОННО-СОРБЦИОННЫЙ НАСОС
вакуумный насос, в к-ром химически активные газы удаляются за
счёт сорбции их геттерами, а инертные газы - в результате интенсивной ионизации
в виде ионов под действием электрич. поля. С помощью И.- с. н. достигают
разрежения 10-7 н/м2 (10-9 мм рт. ст.).
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я