МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР
прибор, применяемый
для измерений неровностей на наружных поверхностях с направленными
следами механич. обработки, а также для определения толщины плёнок, величины
малых перемещений и т. п. Впервые М. разработаны В. П. Линником в 1933.
В оптич. схеме М. использованы интерферометр и микроскоп, что позволяет
одновременно осуществлять наблюдение исследуемой поверхности и интерференционной
картины, полученной в результате взаимодействия двух когерентных световых
волн: волны сравнения, отражённой от образцового зеркала, и волны, отражённой
от исследуемой поверхности и деформированной имеющимися на ней микронеровпостями.
Интерференц. картина в монохроматич. свете представляет собой чередование
тёмных и светлых полос, форма к-рых в увеличенном масштабе воспроизводит
профиль контролируемого участка поверхности (рис.). Высота h неровности
поверхности определяется через искривление
а
и ширину b интерференц. полосы h = a/b-лямбда/i, где
лямбда-ср. длина волны используемого участка спектра. С помощью М. можно
измерять высоты от 0,03 до 1 мкм. Изготовляют М., работающие в белом
и монохроматич. свете. М. снабжают окулярным микрометром для измерений
или окуляром и фотокамерой для регистрации интерференц. картины. Нек-рые
М. имеют устройства для измерений неровностей до 10 мкм по отпечаткам,
снятым с исследуемых поверхностей.
Лит.: Егоров В. А., Оптические и
щу-повые приборы для измерения шероховатости поверхности, 2 изд., М., 1965.
Л. Н. Логачева.
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я