СИЛИЦИРОВАНИЕ
поверхностное
или объёмное насыщение материала кремнием. Производится обработкой материала
в парах кремния, образующихся при высокой темп-ре над кремниевой засыпкой,
или в газовой среде, содержащей хлорсиланы, восстанавливающиеся водородом
(напр., по реакции SiCl
окисления. Стойкость к окислению обусловливается образованием при С. плотных
диффузионных "самозалечивающихся" силицидных покрытий (WSi
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я